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基础学院真空室系统🤽🏼♂️、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
招标文件
项目名称👱🏿♀️：基础学院真空室系统💏、真空获得系统、
真空测量系统等采购项目
招标方👰🏼：意昂4登录资保处
2012年4月11日
招标文件
招标项目名称🏄🏼：基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
发标时间：2012年4月11日星期三
一、 投标邀请
招标方式：
受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目进行公开招标。具体技术参数见附件。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标🤦🏿，标书一式二份，用单独的信封密封🤳，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜👨🏻⚕️。
1． 投标地点：意昂4登录资保处物资供应意昂4（行政楼B113室）
2． 投标截止时间：2012年4月17日16：30，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受🐜。
3． 开标时间和地点💢：2012年4月18日，采取公开开🍻、评标🧜🏿，地点🐖：校资保处。
4． 开💇♀️、评标结果由资保处具体人员通知投标单位。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2012年4月17日前与资保处物资供应意昂4联系。
6． 本招标方地址：上海市龙腾路333号 邮编🤳🏻：201620
7． 联系人👽：高 丹 电话：67791017
具体参数如下：
一 💲、真空室系统 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm🤌🏼，电动上掀盖结构🍴，可内烘烤100～150℃🙋，选用优质不锈钢材料制造👨🏼💼，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理👩🏽🎓🫲🏻，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封🧍🏻♀️🧝；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 、RF100法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2 、RF63法兰接口：1个（观察窗口）；
1.3 🕡、RF10法兰接口👨🏻⚖️：3个（2路进气管路👩🏼🦲、放气阀）；
1.4 、CF150法兰接口：1个（接分子泵）👩👩👧👦；
1.5 、CF100法兰接口：3个（磁控溅射靶接口）
1.6 、CF35法兰接口：6个(接电离规管👶🏿、旁抽口、陶封引线2个、备用2个)；
1.7 🎭🎊、CF25法兰接口🤷🏻：1个（基片挡板）；
1.8 、CF16法兰接口：1个（备用）🙄；
1.9 𓀃、ZC16法兰接口🪃🌰：1个(接ZC16热偶规管)；
2 🧓🌒、磁控溅射靶组件 3套
2.1 、靶材尺寸：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）；
2.2 🧑🏿🦰、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容🛍️，靶内有水冷；
2.3 🟪、电动控制挡板组件👳🏻♀️：1套；
2.4 😔、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；
2.5 、三个靶可共同折向上面的样品意昂4🚵♂️🙋🏼♂️，靶与样品距离90～110mm可调🙌；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示。
3 🙇🏽♂️😫、单基片水冷加热台组件 1套
3.1 🏋🏽♀️、基片尺寸：可放置30mm基片；
3.2 🦩、基片加热最高温度 800°C±1°C🏏，由热电偶闭环反馈控制⚰️；
3.3 🛕🍭、取下加热炉可以换上水冷基片台🏘；
3.4 、基片可连续回转，转速5～10转/分；
3.5 、基片可以加负偏压-200V；
3.6 、手动控制样品挡板组件🏌🏿♀️：1套；
3.7 、样品托：2个；
4 、窗口及法兰接口部件 1套
4.1𓀝🎨、RF100玻璃窗口：1块👨🏻⚕️；RF63玻璃窗口：1块；
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）；
4.3👩🏻🎓、盲法兰CF16👨🏼💼：1个𓀕；CF35：2个；
5 👨🏿💼、工作气路 1套
5.1 、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀、进气截止阀👩🏻🦯、混气室、管路、接头等：共3路
5.2 、DG16角阀、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
二🧔🏻♂️、真空获得系统 1套
极限真空度🦹🏻♀️🔽：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)🔖；
系统真空检漏漏率🧕：≤5.0x10-7 Pa.l/S🧑🏻🦯➡️；
系统从大气开始抽气👩💼，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
1.1 🫱🏻、复合分子泵及变频控制电源📥：1台（抽速600升/秒🖕🏻，北京）；
1.2 🧑🏼✈️、直联机械泵✉️：1台（抽速8升/秒，上海）⏱；
1.3 👜、KF40电磁隔断放气阀🤸🏽：1台（上海）🤞；
1.4 🤱、分子泵与机械泵软联接金属软管👨🏻🎤：1套 ；
1.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路、电磁截止阀及角阀门：1套 ⌛️；
1.6 、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；
2、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成，快卸围板表面喷塑处理👨🏻🎓；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮🤽🏿，可固定👵🏼，可移动💃；
三👨❤️👨、电器控制软硬件系统 1套
1.1 、电源机柜：1台；
1.2 、总控制电源👩🏽🎨：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机🏌🏿♂️、真空计等提供电源🙇🏿♂️， 有断电保护功能）；
1.3 、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；
1.4 ⭕️、样品加热控温电源🚫：1套（日本产控温表🫰🏽🧙🏿♀️，可实现程序控温）♦︎；
1.5 、步进电机旋转电源：1套👨🏽🦲；
1.6 、靶挡板电源：3套🚣🏻；
1.7 🤜🏽、加热烘烤及照明电源：1套🤵🏽；
1.8 、分子泵控制电源：1套🦹🏼；
1.9、500W射频电源🥾：1套；（沈阳）
1.10🤷🏻♀️、500W直流电源🙉⚫️：2套📨；
1.11、-200V直流偏压电源🕜：1套🧝♀️；
2、配件 1套
2.1 🤵🏼♂️、￠6mm不锈钢管🌮：6m🏄🏿🔪；
2.2 、电动升降装置💡🫐：1套🧰；
3、备件 1套
3.1 🔨🧗🏿♂️、无氧铜密封垫圈及管路
CF16🤞🏻：3个🎧；CF35🏋🏻：3个； CF100：2个；CF150👮🏽：2个；
￠6mm卡套🧑🎄👩🎓：4套🫃🏽；
3.2 、氟橡胶密封圈📷：￠100mm🏪👍🏿：1个🙅🏻♂️；￠63mm🏐：1个⛹️♀️🪒、动密封胶圈3个；
3.3 🫳🏻、碘钨灯：5个；
3.4 🔍、样品加热丝：1套；
3.5 🐐🧕🏼、￠100mm玻璃🫷🏿：1块；￠63mm玻璃：1块👨🏻🎨；
3.6 、小型不锈钢标件👩🏼🎨：M3🔉、M4各3个；
3.7 、电器相关的保险丝：各10个。
4、计算机控制系统 1套
由硬件卡、软件组成（计算机用户自备）；
控制的内容主要有靶挡板➔、样品自转🚣🏽♀️、样品挡板🧗、样品控温等；
5🦹🏻♂️、工艺
表面化学抛光👰🏻，喷砂处理。
四🌜、真空测量系统 1套
1.1 👨🔧、宽量程数显真空计（成都）👨🦰：1套；
热偶规：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）；
电离规：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）👩🏽🦲；
1.2 、200SCCM、100SCCM质量流量显示器：1套；