意昂4登录
基础学院真空室系统🙆🏿♂️、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
招标文件
项目名称：基础学院真空室系统、真空获得系统👷🏻、
真空测量系统等采购项目
招标方🧑🏻🦽：意昂4登录资保处
2012年4月11日
招标文件
招标项目名称：基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
发标时间：2012年4月11日星期三
一、 投标邀请
招标方式🫄🏻：
受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对基础学院真空室系统、真空获得系统🫑👊🏿、真空测量系统等采购项目进行公开招标。具体技术参数见附件。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份，用单独的信封密封，并在信封上标明投标单位及投标项目名称🧜🏻，为确保标书的时效性和可行性🚵🏽♂️，以专人送达为宜。
1． 投标地点：意昂4登录资保处物资供应意昂4（行政楼B113室）
2． 投标截止时间🉐：2012年4月17日16：30，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受。
3． 开标时间和地点：2012年4月18日🥏，采取公开开👨🏻🎓、评标，地点🉑：校资保处。
4． 开、评标结果由资保处具体人员通知投标单位。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2012年4月17日前与资保处物资供应意昂4联系👩❤️👩。
6． 本招标方地址：上海市龙腾路333号 邮编：201620
7． 联系人：高 丹 电话♒️：67791017
具体参数如下：
一 、真空室系统 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接🔝🚴🏻♀️，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封🤚🏿；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 、RF100法兰接口⛷🔻：1个（观察窗口）🟪🈵；
1.2 👩🏻🦽、RF63法兰接口👩🏻🚀❤️🔥：1个（观察窗口）➿；
1.3 、RF10法兰接口🫗：3个（2路进气管路👨🏻🦲、放气阀）👩🏿；
1.4 、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.5 、CF100法兰接口🙅🏼：3个（磁控溅射靶接口）
1.6 💺、CF35法兰接口💆🏼♀️🚵🏿♂️：6个(接电离规管、旁抽口、陶封引线2个⚪️、备用2个)；
1.7 🕶、CF25法兰接口：1个（基片挡板）📱；
1.8 、CF16法兰接口：1个（备用）；
1.9 🎭、ZC16法兰接口：1个(接ZC16热偶规管)；
2 、磁控溅射靶组件 3套
2.1 、靶材尺寸：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）💙；
2.2 🧷、永磁靶🔨：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷🏄🏼♀️；
2.3 、电动控制挡板组件：1套👁；
2.4 👩🍳、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；
2.5 ↔️、三个靶可共同折向上面的样品意昂4，靶与样品距离90～110mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示。
3 、单基片水冷加热台组件 1套
3.1 🔫𓀀、基片尺寸🎺：可放置30mm基片；
3.2 🤦🏻♀️、基片加热最高温度 800°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
3.3 、取下加热炉可以换上水冷基片台👗；
3.4 🏇🏽、基片可连续回转，转速5～10转/分；
3.5 🧠、基片可以加负偏压-200V🚏；
3.6 、手动控制样品挡板组件🖕🏽：1套✮；
3.7 、样品托：2个；
4 、窗口及法兰接口部件 1套
4.1、RF100玻璃窗口🦔🏋🏿♀️：1块🎥；RF63玻璃窗口：1块；
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）；
4.3、盲法兰CF16👊🏼：1个；CF35：2个；
5 🛬、工作气路 1套
5.1 ⌚️、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀📂、进气截止阀、混气室、管路👮🏼、接头等：共3路
5.2 、DG16角阀、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
二🪱、真空获得系统 1套
极限真空度🚴🏻♀️：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率𓀑：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；
停泵关机12小时后真空度👴🏻：≤5 Pa；
1.1 、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速600升/秒，北京）；
1.2 、直联机械泵：1台（抽速8升/秒🚴🏼♀️，上海）；
1.3 、KF40电磁隔断放气阀➗：1台（上海）👨🏽🦰；
1.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管🤟🏿：1套 ⛴；
1.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路🚵🏽♂️💂🏻♀️、电磁截止阀及角阀门：1套 ；
1.6 、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）🤚🏿🚄；
2、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成，快卸围板表面喷塑处理🔱；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮🙆🏿♂️，可固定，可移动；
三、电器控制软硬件系统 1套
1.1 、电源机柜：1台；
1.2 🤙🤴🏼、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机🔥、真空计等提供电源， 有断电保护功能）；
1.3 、水流报警系统：1套（对分子泵✉️、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）；
1.4 💼、样品加热控温电源🍁：1套（日本产控温表，可实现程序控温）；
1.5 、步进电机旋转电源💂♂️：1套🦻🏿💆🏿♂️；
1.6 👙、靶挡板电源🏇🏼：3套；
1.7 、加热烘烤及照明电源👨🏽🎨：1套🔒；
1.8 、分子泵控制电源：1套；
1.9、500W射频电源：1套；（沈阳）
1.10🖥、500W直流电源：2套🧸；
1.11🪄、-200V直流偏压电源：1套🙍🏼♂️🤪；
2、配件 1套
2.1 🧝、￠6mm不锈钢管：6m🪝🫴🏻；
2.2 、电动升降装置🧮🍭：1套；
3、备件 1套
3.1 、无氧铜密封垫圈及管路
CF16：3个；CF35：3个； CF100：2个；CF150：2个⤴️；
￠6mm卡套：4套；
3.2 、氟橡胶密封圈🫳🏼：￠100mm：1个；￠63mm🐸：1个👷🏻♂️、动密封胶圈3个；
3.3 、碘钨灯：5个👳🏼♀️；
3.4 、样品加热丝：1套；
3.5 、￠100mm玻璃：1块；￠63mm玻璃：1块；
3.6 、小型不锈钢标件：M3👨🏿🏭、M4各3个；
3.7 、电器相关的保险丝：各10个。
4🫨、计算机控制系统 1套
由硬件卡、软件组成（计算机用户自备）；
控制的内容主要有靶挡板↙️🌖、样品自转、样品挡板🙋🏼、样品控温等🧑🏽；
5👶🏽、工艺
表面化学抛光，喷砂处理。
四、真空测量系统 1套
1.1 🧑🏻🦽➡️、宽量程数显真空计（成都）☝️：1套；
热偶规🥏：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）；
电离规：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）🩳🦒；
1.2 🍪、200SCCM、100SCCM质量流量显示器✉️：1套🤵🏿♂️；